硅晶圆的重要性以及生产时为何需要超纯水设备？
时间：2023-11-20
前言：硅晶圆是现代微电子工业的基础材料，对于现代科技的发展具有至关重要的意义。微电子技术的发展已成为信息技术、航空航天、军事、通信、能源等众多领域的基础，而这一切都离不开硅晶圆的生产。而在硅晶圆制造工艺中还离不开一种设备的身影，那就是超纯水设备。
硅晶圆的制造过程中为何需要超纯水设备？
因为，硅晶圆的制造过程中，需要使用大量的水进行清洗和蚀刻。如果水质中含有杂质，就会对硅晶圆表面造成划痕或腐蚀，影响产品的质量。超纯水设备可以去除水中的微粒、有机物、无机物和其他杂质，确保水质达到极高纯度，从而保证硅晶圆的质量。
硅晶圆生产中应用的超纯水设备主要采用的是预处理+反渗透+EDI+混床的组合形式来制备超纯水。设备具有高效低能、运行成本低，水资源利用率高、体积较小、维修量小，运行时间长等优点。并且设备采用的EDI模块可以避免添加任何化学品，不仅减少了化学品运输问题，同时降低了系统运行费用。EDI模块的应用不会产生酸碱废液，因此不需要酸碱中和处理，这也就减少了一定的投资成本。
超纯水设备不仅拥有上述的优势，还能够连续稳定地制备品质优良的超纯水，水质符合国家GMP认证规定标准，而且还能够满足各种工业用水的不同需求，应用范围非常广泛，可适用于电子、半导体、线路板、集成电路、精密机械的生产和清洗，还可以应用在食品、饮品和饮用水的制取行业中。
结论：硅晶圆作为现代微电子工业的基础材料，超纯水设备能够提供高纯度的水，可以有效避免因水质问题引发的硅晶圆被划产生划痕等问题，保证了硅片的质量和性能。因此，超纯水设备是生产高质量硅晶圆的必要条件。
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编辑：柒柒 技术：米
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